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主要特點
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詳細說明
LPE機臺測溫儀EX-S-3FP系 BASF EXACTUS 系列高溫計產品，BASF Exactus®的原創紅外技術在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優勢：高度敏感的電子學和優良的光學技術意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能，這減少了晶圓透射及發射率造成的誤差。此外，高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優異性能， 由此提供了更好的晶圓溫度監控和生產工藝。
BASF Exactus®系列測溫設備已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導體工藝，并被集成在多家MOCVD設備以及其他RTP設備上如：AIXTRON, LPE，Premtek等。另外，由于其具有很高的測溫精度和穩定性，也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標準器使用，如Thermogauge公司。
LPE機臺測溫儀EX-S-3FP整套配置包含EI110傳感器，光纖，IFD5數字模塊，IFA5模擬模塊，綠激光筆，配套線纜及相應的安裝支架. 精度高達1.5℃, 重復性0.1℃。
典型應用
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技術參數
| 測量參數 | |
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| 溫度范圍: |
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| 工作波長: | 700 - 1650 nm |
| 測量精度: | 優于1.5℃ 或 0.15%測值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重復精度: | 0.1℃ |
| 溫度漂移: | 最大 0.10℃/年 環境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度 |
| 測量速率: | 最高1000 測值/秒, 響應時間1ms |
| 鏡頭 | 固定焦距，光路可定制。 |
| 物理參數 | |
|---|---|
| 供電: | 12-28 VDC, 3W |
| 存儲溫度: | -20 to 70℃ |
| 環境溫度: | 電子器件: 0 - 60℃ |
| 外殼材質: | 傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁； 氣吹外殼，鋁； 惡劣環境專用鏡頭: 304 不銹鋼； |
| 重量: | 標準高溫計，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.) |
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